Краткое описание проекта:
В процессе производства полупроводниковых пластин на них наносится лазерным способом определенная технологическая маркировка (текст). При переходе пластин на следующий этап эту маркировку необходимо считывать. Если она считывается с ошибками или не считывается вовсе — такая пластина считается браком.
Автоматическое считывание (распознавание) маркировки реализовано с помощью системы машинного зрения на базе контроллера Delta серии DMV2000. Наряду с другими функциями машинного зрения в нем есть также функция распознавания текста «OCV», которая позволяет считывать в контролируемой области до двух строк текста по 22 символа в каждой.
Чтобы обеспечить максимальную контрастность изображения маркировки используется подсветка «тёмного поля» (Dark Field). После настройки освещения производится конфигурирование функции «OCV» в контроллере DMV2000 и создаются шаблоны всех символов, присутствующих в маркировке. При необходимости считывания маркировки, расположенной в разных областях пластины, используется несколько функций «OCV».
Распознавание маркировки максимально автоматизировано. SCARA-робот захватывает пластину и перемещает ее в зону контроля.
Сперва система DMV2000 определяет положение полупроводниковой пластины с помощью функции «Shape». Затем используется функция распознавания символов «OCV» для считывания маркировки. Продолжительность всего цикла — не более 800 мс. После завершения распознавания символов контроллер DMV2000 передает результат своей работы в компьютер через интерфейс Ethernet или RS-232 в виде строки обычного текста.
Конфигурация системы:
| 1 | Контроллер | DMV2000-CL2-HS (на 2 камеры) |
| 2 | Камера | DMV-CM2MGCL, ч/б 2 Мп |
| 3 | Объектив | с фокусным расстоянием 25 мм |
| 4 | Подсветка | прямоугольная длиной 100 мм, белый свет + диффузионный фильтр — 2 комплекта |
| 5 | Расстояние до объекта | ~300 мм |
| 6 | Поле зрения | ~60 x 45 мм |
